振梁式负压传感器
对负压力的测量可采用各种真空计或者负压传感器,但其输出量大多为非电量或模拟式电量。本文制作了一种电热激励的微悬臂梁谐振式负压传感器,它利用随微悬臂梁振动的气体分子等效于增加微梁惯性质量的原理测量气压或...
对负压力的测量可采用各种真空计或者负压传感器,但其输出量大多为非电量或模拟式电量。本文制作了一种电热激励的微悬臂梁谐振式负压传感器,它利用随微悬臂梁振动的气体分子等效于增加微梁惯性质量的原理测量气压或...
基于MSC1210芯片设计的悬臂梁式厚膜力敏传感器研发资料,涵盖结构设计、电路配置与性能测试方法,适用于传感器开发与微电子应用领域。...
适用于能源收集与自供电系统开发,利用柔性压电材料在流体作用下产生振动并实现能量转化,为微机电系统提供稳定电源方案。结合压电陶瓷与悬臂梁结构,提升能量转换效率。...
提出和论述了一种光纤振动传感器的原理和探头设计方法。使用悬臂梁来遮挡反射回光纤的光,用光强度调制来实现振动信号的测量。这种传感探头只需一根光纤引出,紧凑小巧,易于安装调试。结果表明,这种光纤振动传感器...
介绍了一种多通道光纤振动传感器的原理和设计,它使用悬臂梁来遮挡反射回光纤的光,用光强度调制来实现振动信号的测量。这种传感探头只需一根光纤引出,紧凑小巧,易于安装调试。详细地介绍了系统的设计和制作方法。...