微电子学
微电子学,是以集成电路设计、制造与应用为代表的学科,是现代发展最迅速的高科技应用性学科之一。学科内容主要涉及集成电路、微电子系统的设计、制造工艺、制造装备和设计软件系统,培养能在微电子及相关领域从事科研、教学、工程技术及技术管理等工作的高级专门人才。
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自动装置用微电机制造工艺学 435页 8.9M.pdf
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2023-04-18
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