微电子学
微电子学,是以集成电路设计、制造与应用为代表的学科,是现代发展最迅速的高科技应用性学科之一。学科内容主要涉及集成电路、微电子系统的设计、制造工艺、制造装备和设计软件系统,培养能在微电子及相关领域从事科研、教学、工程技术及技术管理等工作的高级专门人才。
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振子框架式微机械陀螺的优化设计及电学模拟
根据驱动模态频率和检测模态的频率相互匹配, 用有限元法优化了振子框架式微机械陀螺的结构尺寸; 根据建立的陀螺振动的等效电路模型, 对检测振动的性能进行了模拟分析, 该模型为传感器与接口电路的整体模拟打
2024-01-03
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