基于PSD的微轮廓测量仪及其控制系统研究
涉及到一种基于PSD 原理的高精度三维轮廓测量仪。X—Y 工作台采用了宏驱动与微驱动相结合的工作方式。宏工作台采用步进电机驱动, 进给精度达1 微米; 微工作台采用精密压电陶瓷驱动, 进给精度最小可达
2024-03-25
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