· 摘要： 介绍了一种基于DSP+PSD体系结构的微小位移测量的系统.详细叙述了该检测系统的测量的原理,数字信号处理器(DSP)采样,硬件电路的实现,信号接收控制模块,软件设计和具体实现的流程框图.此系统可开发成便携式微...
基于PSD的微轮廓测量仪及其控制系统研究
资料详细技术说明
涉及到一种基于PSD 原理的高精度三维轮廓测量仪。X—Y 工作台采用了宏驱动与微驱动相结合的工作方式。宏工作台采用步进电机驱动, 进给精度达1 微米; 微工作台采用精密压电陶瓷驱动, 进给精度最小可达
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