高等电力电子技术-风力发电(新能源与微电网技术)
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微电子机械系统(MEMS ———Micro Electro Mechanical Systems) ,是指运用微电子加工技术和微机械加工技术,在较小的物理尺寸上,集成了微机械元件,微传感器,微机械执行...