微传感器
微传感器是一种基于半导体工艺技术的新一代传感器器件，它应用新的工作机制和物化效应，采用与标准半导体工艺兼容的材料，用微细加工技术制备的。微传感器因其微型化、智能化、低功耗、易集成的特点而越来越受到青睐。
资源总数
500
微传感器 热门资料
查看全部 500 份 →微机械生化传感器
自从Clark 和Lyons 在1962 年研制出第一个生物传感器以来,探测各种生物和化学分子的生化传感器相 继问世. 这类传感器的基本原理是通过生化敏感层,被分析分子在敏感层上的物理或化学吸附被换能
2024-05-14
1
微传感器与微执行器全书 -Micromachined Transducers Sourcebook
此书为美国 格雷戈里 T.A. 科瓦奇著，由张文栋教授等人编译，是一部关于微机械系统方面的重要论著和首选技术参考书，可供MEMS及相关领域的专家学者、科研技术人员以及大专院校师生查阅使用。
2022-12-26
10