微传感器与微执行器全书 -Micromachined Transducers Sourcebook
此书为美国 格雷戈里 T.A. 科瓦奇著，由张文栋教授等人编译，是一部关于微机械系统方面的重要论著和首选技术参考书，可供MEMS及相关领域的专家学者、科研技术人员以及大专院校师生查阅使用。...
微传感器技术资料
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微传感器是一种基于半导体工艺技术的新一代传感器器件，它应用新的工作机制和物化效应，采用与标准半导体工艺兼容的材料，用微细加工技术制备的。微传感器因其微型化、智能化、低功耗、易集成的特点而越来越受到青睐。
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查看全部10000个资源 »电容压力微传感器数值分析
用伪谱算法对电容压力微传感器极板膜在均匀载荷条件下的弯曲行为作了数值模拟, 叙述了伪谱算法原理, 并将其用于微传感器的载荷与电容关系分析. 对于非接触式电容压力微传感器, 只有在小载荷(引起的最大垂向...
硅谐振微传感器中微现象测量技术
主要论述硅谐振微传感器中微现象测量。讨论了微现象测量中有关的技术:激励功率控制,超声频谐振频率的测量,频率特性的测定,品质因数的确定,克服电热效应的不良影响,同频干扰的抑制等。关键词: 信息...
一种硅微振动角速度传感器
介绍了一种静电驱动、电容检测单自由度硅微振动角速度传感器实验样机的结构、工作原理、加工方法、驱动方法、检测方法和实验结果。实验结果表明，该角速度传感器实验样机已具有一定的性能, 其灵敏度为! 0- ’...
基于微加速度传感器的无线鼠标设计
2.4G 加速度传感器...
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