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本书集作者多年来的实践经验与研究成果,系统地介绍了微纳米加工技术的基础,包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、X射线曝光技术、各种刻蚀技术和微纳米尺度的复制技术,对各种加工技术着重讲清原理,列举基本的工艺步骤,说明各种工艺条件的由来,并注意给出典型上艺参数,充分分析了各种技术的优缺点...

👤 d1997wayne ⬇️ 75 次下载

介绍分布式发电及微电网领域研究的诸多问题,讨论微电源、储能装置、逆变装置及隔离装置中需要研究的问题.并从电力系统应用的角度分析微电网的控制和保护、安全稳定运行、电能质量、运行及接人标准等问题。...

👤 zhaiyawei ⬇️ 2 次下载

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