微机电

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形状记忆合金(SMA) 薄膜因其特有的形状记忆合金效应、超弹性行为以及薄膜材料所特有的优越性能,而在微机电系统中的微驱动器和微传感器方面极具应用潜力。本文主要介绍了以TiNi 基合金为主的形状记忆合金

2024-02-07 2 微机电