微弯压力
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提高微压传感器灵敏度的深盆腔压力膜片研究( 二)
ANSYS - 5. 7 被用来进行有限元分析。首先根据硅微机械技术的特点对3 种膜片进行建模。图2 (a)中的平膜没有什么特殊性,但图2 (b) 和图2 (c) 的波纹膜和深盆腔膜则有一定的形状要求
2024-03-06
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提高微压传感器灵敏度的深盆腔压力膜片研究( 一)
表面微机械微小量程压力传感器采用多晶硅薄膜等有内应力的敏感膜片时,应力往往会使膜片的力学灵敏度大大下降,无法满足微量程测量的要求。波纹膜片可以消除或减小应力来提高灵敏度,但是其波纹结构本身又会
2023-12-26
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硅微机械加工光波导压力传感器的设计
随着波导材料的研究和进展,采用新的波导材料设计出了一种波导式压力传感器,就光波导压力传感器的原理和特性作了一个简要阐述,对它的工艺流程作了详细的描述。关键词:光波导压力传感器; 硅微机械法;
2024-04-10
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电力变压器微机差动保护的算法与实现
·摘要： 本文介绍了一种三绕组变压器差动保护装置,包括基本原理、保护算法、以及工程实现.该装置以DSP为核心,采用电磁兼容技术以及在线故障诊断、实时报警,使该装置能安全、可靠地运行.具有速度快、整定范围宽、准确度高等优点.&nb...
2024-11-11
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