提高微压传感器灵敏度的深盆腔压力膜片研究( 一)
表面微机械微小量程压力传感器采用多晶硅薄膜等有内应力的敏感膜片时,应力往往会使膜片的力学灵敏度大大下降,无法满足微量程测量的要求。波纹膜片可以消除或减小应力来提高灵敏度,但是其波纹结构本身又会...
微压传感器技术资料
📦 资源总数：10000
🔥 微压传感器热门资料
查看全部10000个资源 »提高微压传感器灵敏度的深盆腔压力膜片研究( 二)
ANSYS - 5. 7 被用来进行有限元分析。首先根据硅微机械技术的特点对3 种膜片进行建模。图2 (a)中的平膜没有什么特殊性,但图2 (b) 和图2 (c) 的波纹膜和深盆腔膜则有一定的形状要求...
压阻式压力传感器测压
压阻式压力传感器测压，有需要的可以参考！...
压阻式压力传感器
应用最广的压力传感器...
振梁式负压传感器
对负压力的测量可采用各种真空计或者负压传感器,但其输出量大多为非电量或模拟式电量。本文制作了一种电热激励的微悬臂梁谐振式负压传感器,它利用随微悬臂梁振动的气体分子等效于增加微梁惯性质量的原理测量气压或...
📂 微压传感器资料分类