基于PSD的微位移传感器建模的实现方法
为了正确反映基于光电位置敏感器(PSD)的微位移传感器的特性，首先介绍了一维光电位置敏感器的工作原理并分析了利用PSD结合光学三角测量法将位移信号转换成电压信号的工作原理，得出基于PSD的微位移传感器被测试件位移量与相关测量电路输出电压(S，V)关系特征，然后基于最小二乘估计算法基本原理， ...
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查看全部5928个资源 »光纤位移传感器在微位移测量中的应用研究
设计了一种测量微位移的光纤位移传感器, 得到了传感器的位移2相位变化关系, 通过相位检出, 获得了微位移量。分析表明, 光纤位移传感器能够满足微位移测量的要求。关键词: 光纤传感器; 微位移;...
硅微机械传感器
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