📚 微传感器技术资料

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微传感器是一种基于半导体工艺技术的新一代传感器器件，它应用新的工作机制和物化效应，采用与标准半导体工艺兼容的材料，用微细加工技术制备的。微传感器因其微型化、智能化、低功耗、易集成的特点而越来越受到青睐。

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微芯的FOC讲解，讲的很全面，包括PID原理讲解，非常不错...

👤 fliang ⬇️ 13 次下载

foc PMSM

一般的压阻式硅微加速度传感器结构多采用悬臂梁加质量块的形式, 这种结构的传感器有很高的灵敏度, 但它会产生很高的横向效应。文中介绍一种八梁结构的三轴加速度传感器, 通过用ANSYS有限元分析软...

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八梁硅微加速度传感器灵敏度

表面微机械微小量程压力传感器采用多晶硅薄膜等有内应力的敏感膜片时,应力往往会使膜片的力学灵敏度大大下降,无法满足微量程测量的要求。波纹膜片可以消除或减小应力来提高灵敏度,但是其波纹结构本身又会...

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提高微压传感器压力

论述微脉冲位移传感器的工作原理及其在300MN 水压机活动横梁平衡控制系统中的应用。[关键词] 300MN 水压机; 动梁平衡控制; 微脉冲位移传感器...

👤 qdxqdxqdxqdx ⬇️ 7 次下载

ANSYS - 5. 7 被用来进行有限元分析。首先根据硅微机械技术的特点对3 种膜片进行建模。图2 (a)中的平膜没有什么特殊性,但图2 (b) 和图2 (c) 的波纹膜和深盆腔膜则有一定的形状要求...

👤 jiabin ⬇️ 10 次下载

提高微压传感器压力

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