微传感器
微传感器是一种基于半导体工艺技术的新一代传感器器件,它应用新的工作机制和物化效应,采用与标准半导体工艺兼容的材料,用微细加工技术制备的。微传感器因其微型化、智能化、低功耗、易集成的特点而越来越受到青睐。
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SiC气体传感器
SiC 肖特基二极管气体传感器可以广泛应用于检测气体排放物和气体泄露。通过采用PdCr 合金,可以提高Pd/ SiC 气体传感器的灵敏度。同时,在Pd 层和SiC 之间引入SnO2 作为界面层也是提高
2024-03-07
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