具有位移感知功能的超磁致伸缩微位移执行器的研究
采用新型的功能材料——超磁致伸缩材料作为微位移器件, 研制了一种具有位移感知功能的超磁致伸缩微位移执行器, 并建立了其微位移闭环控制系统. 提出了一种高分辨率、无摩擦、传感ö位移传递一
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