工艺要求

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2026-03-08 3 工艺要求

MEMS真空封装是提高MEMS惯性器件性能的主要手段。本文应用实验方法,在真空熔焊工艺设备上研究了MEMS器件金属外壳真空封装工艺。对不同镀层结构的外壳进行了封装实验比较和气密性测试,结果发现,金属外壳表面镀Ni和镀Au或管座表面镀Ni和A...

2016-07-26 2 工艺要求

该文档为Cadence-中添加工艺库文件步骤讲解文档,是一份还算不错的参考文档,感兴趣的可以下载看看,,,,,,,,,,,,,,,,,

2022-09-21 4 工艺要求