工艺模型
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2023-05-11
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SUPREM-III进行集成电路氧化—扩散工艺模拟
随着集成电路工艺的不断发展，工艺模拟软件功能也在不断的改善，本文以氧化扩散工艺为例,并在计算机上采用SUPREM-III 完成氧化扩散初始条件的编辑以及工艺模拟，并对模拟结果进行分析比较。从而对氧化、
2023-12-30
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图像传感测量在热成型工艺中的应用研究
介绍图像传感器对快速热成型工件的外径在线检测原理。通过对误差因素的实验验证和理论分析,给出一种适用的图像信号的综合误差补偿方法。该方法避开了难以检测的误差因素,借助易测的相关参量的在线估值,适时给出误
2024-02-28
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