硅中磷杂质的SIMS定量检测
样品的前期处理工艺会对检测结果产生影响。不同处理工艺得到的样品,在表面粗糙度方面产生区别。不同的表面粗糙度,影响到样品的测试时间和测试精度。同时,通过仪器调试,仪器的真空度达到1×10-10 torr,使测试背底和检测限降低。 ...
样品的前期处理工艺会对检测结果产生影响。不同处理工艺得到的样品,在表面粗糙度方面产生区别。不同的表面粗糙度,影响到样品的测试时间和测试精度。同时,通过仪器调试,仪器的真空度达到1×10-10 torr,使测试背底和检测限降低。 ...
检测技术及仪表的地位与作用1.1. 1检测仪表的地位与作用一、 检测仪表 检测――对研究对象进行测量和试验,取得定量信息和定性信息的过程。检测仪表――专门用于“测试”或“检测”的仪表。二、 地位与作用:1、 科学研究的手段 诺贝尔物理和化学奖中有1/4是属于...
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