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2023-12-21 1 变分EM

提出了一种将铁电材料与M EM S 集成的新趋势, 并介绍了几种在这种趋势下应运而生的最新的微传感器和微执行器。关键词 M EM S 铁电材料 微传感器 微执行器

2024-04-04 5 变分EM