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《集成电路设计制造中EDA工具实用教程》共17章，分为三个部分。第一部分介绍半导体工艺和半导体器件仿真工具，分别介绍了Synopsys公司的TSUPREM4/MEDICI，ISE TCAD和Silvaco公司的Athena/Atlas等TC...
某厂选用ADAM5000系列的DCS对煤气发生炉控制系统进行改造。介绍了煤造气工段的主要工艺流程,控制系统的构架、硬件配置及系统监控。
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《微系统设计与制造》是2008年清华大学出版社出版的图书。本书强调设计与制造相结合、基础与前沿相结合，在基础理论和制造技术的基础上，深入介绍典型器件的设计和制造方法以及重点和前沿应用研究领域，力争展示微系统的全貌。微系统（MEMS）是一门多...