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冷却和温度控制系统在半导体制造设施中得到广泛使用。无论大型还是小型的生产设备,都会安装有数百 甚至数千个冷却系统,并在其中连续运转。这些系统所采用的工艺通常设置为完全复制型,这意味着工艺 系统是由工艺设备的 OEM(原始设备制造商)开发并转变而成。在半导体制造设施中使用的这些关键的生 产设备都必须要...

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