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光刻机双工件台系统上位机软件设计
集成电路、半导体元器件等超精密器件已经被广泛应用在各行各业中，而光刻机作为研制和生产超精密器件的主流设备也变得尤为重要。双工件台系统是光刻机的关键子系统。光刻机双工件台系统的控制系统主要由上位机和下位机两部分组成。下位机指采用VME总线的工...
2023-09-11
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单端荧光灯性能要求
对于采用交流电源频率及无启动器线路工作的预热阴极灯，每只阴极电阻的初始读数均不得低于有关的灯参数表中规定的最小值。该电阻值包括导线的电阻。对于采用高频率工作的预热阴极灯，或可以在高频条件下工作
2023-10-25
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