光栅尺
光栅尺,也称为光栅尺位移传感器(光栅尺传感器),是利用光栅的光学原理工作的测量反馈装置。光栅尺经常应用于数控机床的闭环伺服系统中,可用作直线位移或者角位移的检测。其测量输出的信号为数字脉冲,具有检测范围大,检测精度高,响应速度快的特点。例如,在数控机床中常用于对刀具和工件的坐标进行检测,来观察和跟踪...
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光栅尺 热门资料
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在表面形貌测量、精密加工、微机电控制系统、生物医学工程以及芯片光刻与封装技术中,高精度的XY二维位移运动工作台具有重要的意义。为此,论文以高精度的XY二维位移运动工作台为研究对象,结合光栅检测技术、伺服驱动控制、FPGA(Field Pro...
2023-09-28
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基于线阵CCD 的全息光栅位移自动测量系统的研制与开发
提出了一种新型的基于线阵CCD 的全息光栅位移传感器,该系统利用线阵CCD 分辨率高、像素均匀等特点,对干涉条纹的移动进行精确定位,全息光栅在测量过程中具有不受光源波长的影响、适用光谱范围宽等特
2023-12-22
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