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基于线阵CCD 的全息光栅位移自动测量系统的研制与开发 - 资源详细说明
提出了一种新型的基于线阵CCD 的全息光栅位移传感器,该系统利用线阵CCD 分辨率高、像素均匀等特点,对干涉条纹的移动进行精确定位,全息光栅在测量过程中具有不受光源波长的影响、适用光谱范围宽等特
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