光束法

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随着纳米科技的迅速发展，下一代光刻技术在微细加工领域发挥着日益重要的作用。作为复杂半导体加工主要手段之一的电子束曝光系统，需要稳定完善的控制软件来保证其正常运行。本文介绍了电子束曝光控制系统的

2024-04-24 5 光束法

MATLAB 有约束信赖域算法，以四元多项式为算例 适用于学习最优化算法的数学专业学生以及其他数值分析课程的同学， 程序清晰，对MATLAB的学习也有很大的帮助，同时程序还有一些不足，读者自己须根据实际问题更正。

2017-06-11 95 光束法

•合肥光源：0.8Gev，第二代专用同步辐射光源 •二期工程目标之一：控制束流轨道的稳定性 较敏感的实验站窗口的光源点之垂直移动稳定在±30µm 全环垂直方向轨道稳定在±0.1mm

2013-11-22 137 光束法