UV_LIGA技术光刻工艺的研究
华中科技大学的硕士学位论文,使用光刻胶中的参数的研究:涂胶、前烘、曝光、后烘、热应力、显影...
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硅光设计书籍,包括微环谐振器,MZI,布拉格光栅,包括原理,仿真和优化过程的详细说明。...
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