光刻机
光刻机(lithography)又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。
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2023-04-22
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基于ZPETC的雕刻机直流伺服控制系统设计.rar
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2013-04-24
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2023-08-30
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