光刻机

光刻机(lithography)又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。

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2014-01-26 176 光刻机

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2013-12-25 86 光刻机

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2016-06-09 27 光刻机

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2014-01-10 100 光刻机

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2024-09-24 3 光刻机

华中科技大学光电学院刘德明老师所著的光纤光学教材,在国内光纤光学领域刘老师无疑是非常权威的,本书适合本科光电专业学习,内容涵盖光纤光学的理论计算及技术前景。

2023-09-24 5 光刻机