光刻技术
集成电路制造中利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀方法，将电路图形传递到单晶表面或介质层上，形成有效图形窗口或功能图形的工艺技术。
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光纤光缆技术发展以及在FTTH中的应用 综述了近期光纤光缆制造、施工及维护技术上的发展特点
光纤光缆技术发展以及在FTTH中的应用 综述了近期光纤光缆制造、施工及维护技术上的发展特点，分析了其发展趋势，并就我国光纤光缆技术与产业的发展提出了一些值得思考的问题。FTTH正在走入人们实用化的视野，国内外很多光缆生产厂商或研究所都...
2016-11-14
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光刻机双工件台系统上位机软件设计
集成电路、半导体元器件等超精密器件已经被广泛应用在各行各业中，而光刻机作为研制和生产超精密器件的主流设备也变得尤为重要。双工件台系统是光刻机的关键子系统。光刻机双工件台系统的控制系统主要由上位机和下位机两部分组成。下位机指采用VME总线的工...
2023-09-11
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全光纤及其它光学电流传感技术发展现状
介绍了全光纤电流传感及其它光学电流传感技术的基本原理、分类、各自存在的主要问题及可能的应用领域,回顾了自1996 年以来各种光学电流传感技术研究的发展状况,并对未来的研究重点给出了一些建议。
2024-01-18
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