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查看全部 500 份 →IC中多余物缺陷对信号串扰的定量研究
摘 要：该文研究了铜互连线中的多余物缺陷对两根相邻的互连线间信号的串扰，提出了互连线之间的多余物缺陷和互连线之间的互容、互感模型，用于定量的计算缺陷对串扰的影响。提出了把缺陷部分单独看作一段RLC 电路模型，通过提出的模型研究了不同互连线参...
2023-09-02
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基于DSP平台判定光学膜厚监控信号极值
· 摘要： 针对光学监控系统(OMS)实际工作中面临监控信号含有噪声分量过大;极值点附近信号不够灵敏两大困难.本文采用基于遗忘因子的自适应卡尔曼滤波(AKF)对光学膜厚监控信号进行去噪处理;并采用基于电压补偿和设置差分...
2024-11-16
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