九点差分
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2016-06-24
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广义位移传感器在形状误差和误差运动分离中的读数贡献
详细推导并统一了形状误差和误差运动高精度检测2分离技术中各类传感器的读数方程,包括传统的差动变压器式位移传感器、电涡流式位移传感器、电容式微位移传感器和近年来出现的激光微位移传感器、激光角位移传
2024-05-20
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