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广义位移传感器在形状误差和误差运动分离中的读数贡献

  • 资源大小:263 K
  • 上传时间: 2024-05-20
  • 上传用户:默默
  • 资源积分:2 下载积分
  • 标      签: 误差 广义 位移传感器

资 源 简 介

详细推导并统一了形状误差和误差运动高精度检测2分离技术中各类传感器的读数方程,包括传统的差动变压器式位移传感器、电涡流式位移传感器、电容式微位移传感器和近年来出现的激光微位移传感器、激光角位移传

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