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用于MEMS芯片封盖保护的金-硅键合新结构，与器件制造工艺兼容!键合温度低!有足够的键合强度，不损坏器件结构，实现了MEMS器件的芯片级封装。
意法半导体已售出超过140亿个微机电传感器，提供业界最全面的MEMS系列产品，包括加速度计、陀螺仪、数字罗 盘、惯性模块、MEMS麦克风和环境（包括压力、温度和湿度）传感器。独特的传感器产品组合，从分立式到集成式解决方案，满足了所有设计需...
· 摘要： 针对微型飞行器(MAV)的特点介绍了一种基于微机电系统(MEMS)传感器的微型航姿仪,它包括三轴陀螺、三轴加速度传感器、三轴磁阻传感器和数字信号处理器(DSP).详细给出了系统整体方案设计和具体的硬件选型和...
提出一种基于MEMS传感器和数字信号处理技术的电容式露点传感器的设计，实现对大气环境的露点温度检测。利用24位Σ-Δ模数转换器对温度进行测量，并运用PID算法对多级半导体制冷器进行精确控制。经过光学冷镜式露点传感器的对比测试，验证了其露点测...
为了让初学者和DIY爱好者能够更好的学习和了解多轴飞行器制造，总结了匿名的开源项目作品，借电路城平台分享给大家。匿名开源的四轴/六轴及配套的遥控项目，涵盖了飞控电路原理图、源代码、驱动和用户手册。