三自由度

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设计了一种新型结构的体硅工艺梳齿电容式加速度计,该设计采用2个检测质量块,分别检测水平方向和垂直方向的加速度。x,y水平方向不对称梳齿的设计,消除了z轴对水平轴向加速度的干扰,同时z轴支撑梁的设计,解决了水平轴向对z轴的干扰。

2013-10-13 65 三自由度

· 摘要:  ADI公司的角速度传感器ADXRS401具有优良的特性.本文介绍了ADXRS401的工作原理,设计并实现了一个三维陀螺仪;同时给出了该系统硬件和软件的设计方案和具体实现,并提高了该微机械陀螺仪的精度,给出了...

2013-04-24 96 三自由度