三端电容

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阐述了电容法的基本原理, 重点利用电磁场三维有限元法对电容传感器进行优化设计, 并设计了低的零点漂移, 稳定的灵敏度, 能抗杂散电容、抗干扰的测量电路. 很好地解决被测流体流型影响测量结果的问题.

2023-06-16 3 三端电容

设计了一种新型结构的体硅工艺梳齿电容式加速度计,该设计采用2个检测质量块,分别检测水平方向和垂直方向的加速度。x,y水平方向不对称梳齿的设计,消除了z轴对水平轴向加速度的干扰,同时z轴支撑梁的设计,解决了水平轴向对z轴的干扰。

2013-10-13 65 三端电容