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实现平面度测量电容传感器 - 资源详细说明
本文介绍了一种用于平面度测量的电容传感器的结构及其测量电路，提出了电容传感器的制作方法及实现平面度测量的设计方案。通过对该传感器进行实验研究和理论分析，给出了这种电容传感器可实现平面度测量的结论。
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