汽车理论第六版清华大学余志生 主编
微机电系统的发展与应用
资料详细技术说明
微机电系统（MEMS）是当前一个发展极为迅速并涉及多个学科的领域。本文主要介绍了微机电系统的产生与发展过程，讨论了它所采用的材料和加工技术、该技术涉及的各个学科，着重阐述了器件的具体分类、结构组
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