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先进的集成微型传感器的研究进展 - 资源详细说明
通过集成微型声传感器、集成微型振动传感器、集成微型传感器组和无线集成微型传感器的结构特点、性能以及研制情况,介绍目前先进的集成微型传感器的研究进展状况。
关键词: 集成; 微型; 传感器; 研究
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