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可支持任意流程的微机电系统设计工具技术 - 资源详细说明
论述了微机电系统设计工具的发展概况，并针对微机电系统的多样性对设计工具的需求提出了一种可支持任意流程的微机电系统设计工具架构。该架构以系统级行为建模与仿真、器件级物理建模与仿真和工艺级版图设计与工艺仿
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