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精密半导体晶片的“清道夫”

时间:2024-01-23


人的一根头发有多粗?

一般在200微米以下

病毒直径有多大?大约50纳米

目前的半导体晶片工艺能够达到多少?

10纳米!甚至是7纳米!

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大到航天装备,小到手机通讯,从军品到民用,半导体晶片应用越来越广泛,越来越精密,其制造业发展十分迅猛。

但是许多人不知道,制造小于10纳米单位数节点晶片的过程中需要经过数百道清洗工序,此过程中用于半导体晶片清洁的关键产品就是——电子级硫酸。

5月30日,全球领先的化工公司巴斯夫在上海召开的媒体见面会上宣布,位于浙江嘉兴的新建电子级硫酸装置正式投入运营,其产品将主要服务于中国日益增长的半导体制造行业,并将配比下一代节点最佳质量水平(10纳米至7纳米)。在客户强劲需求的推动下,该装置尚未竣工即同时启动扩建项目,扩容后产能将翻番,达到24000吨,扩建项目预计将于今年年底投产。

巴斯夫电子材料业务部亚太区副总裁言甯璿博士表示:“嘉兴的新电子级硫酸装置是巴斯夫在中国电子材料市场持续增长与拓展的又一重要举措。中国已成为全球最大电子材料市场之一,而且还在不断成长,我们很高兴能够参与这一增长势头。我们将更贴近客户,为他们提供更迅捷、更高效的化学解决方案、更可靠的供应和更稳定的品质。”

巴斯夫嘉兴装置所生产的硫酸在性能水平上已经超越了当今速度最快、性能最优的半导体标准要求,其质量与稳定性在业内首屈一指。嘉兴装置依托巴斯夫全球研发网络与专业生产技术,成功搭建出生产工艺的复杂架构,并实施质量管理专有体系。

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据巴斯夫电子材料中国区总经理窦峥介绍,嘉兴硫酸装置分化过程有五大亮点:以聚四氟乙烯为内衬的工艺过滤制程设备;全自动化,在线生产控制系统;先进装车系统:如自动洁净槽车充填系统;多步过滤技术,最大程度实现微量金属粒子去除;新建成配备先进分析设备和无尘环境的质量控制实验室,金属检测水平达到千万亿分之一等级。

据了解,该套新装置位于上海西南的浙江省嘉兴市海滨城镇乍浦,配备了最先进的技术,将生产最高品质的硫酸。这一装置拥有先进的质量分析设备和配有专用无尘室的分析实验室,巴斯夫分析能力和特有工艺通过行业领先的识别尘粒计数水平方式确保了最佳质量。

“目前金属检测水平行业标准达到兆分之五,我们的标准在兆分之一,远远高于行业标准。”言甯璿说,作为全球领先的电子材料供应商,巴斯夫为电子行业提供多种解决方案,包括经过高纯度先进方法加工的特种化学品组合,以及面向电子行业的应用和定制化解决方案。

文章来源:科普时报


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