薄膜生长模拟
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查看全部 500 份 →1． 对薄膜形成与生长中相关物理过程及现象进行分析和建模。 2． 利用蒙特卡罗（Monte Carlo）方法和分子动力学（Molecular Dynamics）方法对薄膜形成与生长过程进行计算机模拟
1． 对薄膜形成与生长中相关物理过程及现象进行分析和建模。 2． 利用蒙特卡罗（Monte Carlo）方法和分子动力学（Molecular Dynamics）方法对薄膜形成与生长过程进行计算机模拟。 3． 对多孔硅形成的模拟。
2015-09-04
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高灵敏度微机械薄膜的设计、模拟与优化
许多高性能微传感器和微执行器的实现都离不开高灵敏度的薄膜。使用微机械加工方法制备的薄膜一般有着不可忽视的残余应力。残余应力极大地降低了膜的机械灵敏度。文中提出的纹膜结构, 可在不改变工艺条件的前提下,
2024-01-25
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热电薄膜型气体流量传感器的热模拟分析
利用有限元分析工具ANSYS/ FLOTRAN , 模拟并分析了一个基于薄膜结构的热电型气体流量传感器的温度场。并具体地分析了在气体流量通道入口处气体的流向角度对传感器输出信号以及气体流动状态的影响。
2024-02-29
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