硅中磷杂质的SIMS定量检测
样品的前期处理工艺会对检测结果产生影响。不同处理工艺得到的样品,在表面粗糙度方面产生区别。不同的表面粗糙度,影响到样品的测试时间和测试精度。同时,通过仪器调试,仪器的真空度达到1×10-10 torr,使测试背底和检...
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样品的前期处理工艺会对检测结果产生影响。不同处理工艺得到的样品,在表面粗糙度方面产生区别。不同的表面粗糙度,影响到样品的测试时间和测试精度。同时,通过仪器调试,仪器的真空度达到1×10-10 torr,使测试背底和检...
用微波光电导衰减仪(μ2PCD) 研究了不同温度和时间的恒温和变温磷吸杂处理对铸造多晶硅片电学性能的影响。实验发现: 变温吸杂明显优于恒温吸杂,特别是对原生高质量多晶硅; 其优化的变温磷吸杂工艺为10
由于双层磷脂膜(BLM ) 可模仿自然界的生物细胞膜的生物相容性, 成为生物分子的天然固定化材料, 因此在生物传感器的研制领域显示出广泛的应用前景。本文介绍了BLM、s2BLM 的电化学性质、制备技术
若锗中含有一定数量的杂质元素Sb,试根据要求分析杂质浓度与电离度以及电离温度之间的关系: (1)当Sb浓度分别为 和 时,计算杂质99%,90%和50%电离时的温度各为多少? (2)根据一定杂质类型和杂质浓度,画出电离度和温度的关系图线...
若锗中含有一定数量的杂质元素Sb,试根据要求分析杂质浓度与电离度以及电离温度之间的关系: (1)当Sb浓度分别为 和 时,计算杂质99%,90%和50%电离时的温度各为多少? (2)根据一定杂质类型和杂质浓度,画出电离度和温度的关系图线...