硅微机械传感器

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自从Clark 和Lyons 在1962 年研制出第一个生物传感器以来,探测各种生物和化学分子的生化传感器相 继问世. 这类传感器的基本原理是通过生化敏感层,被分析分子在敏感层上的物理或化学吸附被换能

2024-05-14 1 硅微机械传感器