低流速气体流量传感器的研制
提出一种基于温差测量原理测量低流速气体流量的方法并进行了实验验证$ 传感器由一对集成温度传感器芯片与片状铂电阻热源构成,专门设计的片上恒流供电电路保证了热源加热功率的稳定对该流量传感器样品进行
2023-11-25
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