机械系统

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微电子机械系统技术的特点是可使制品微型化、集成化并以硅作为加工材料。该技术可分为体微机械加工、表面微机械加工、金属微机械加工和复合微机械加工四类。所采用的基础技术主要有:腐蚀技术、硅键合技术、多层无应...

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以锻造机械手典型机械运动水平直线运动为例,建立该运动过程的动态数学模型,通过变参数仿真研究各种参数对系统动态特性的影响,分析系统响应特性对控制系统及控制精度的影响.采用AT89C51单片机对步进电机进行控制,通过I/O口输出的脉冲信号作为步...

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