晶圆处理
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查看全部 500 份 →基于小波变换处理圆度误差的测量方法
·摘 要:由于圆度误差是机械零件及其可换性的重要指标，是产品质量的关键，所以对圆度误差进行测量是十分必要的。本文提出一种利用小波变换的多分辨率分析来评价圆度误差的方法，该方法主要利用小波变换尺度函数的低通特性来对圆度测量数据进行处理．以此来...
2024-09-07
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