扩散炉
扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一,用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。
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查看全部 500 份 →基于RBF网络的半导体扩散炉温度控制建模研究
针对半导体扩散炉温度控制问题,提出采用RBF 神经网络控制方法。RBF 神经网络采用3-8-3 结构。建模表明,此RBF 网络数学模型具有良好的控制品质。关键词:半导体扩散炉;RBF 神经网络
2024-05-14
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