集成电路制造中利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀方法,将电路图形传递到单晶表面或介质层上,形成有效图形窗口或功能图形的工艺技术。
工具书,软光刻技术,微电子,MEMS工艺相关。
芯片制备中光刻技术
华中科技大学的硕士学位论文,使用光刻胶中的参数的研究:涂胶、前烘、曝光、后烘、热应力、显影
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废旧光驱改的激光雕刻机,简单介绍如何制作 需要什么材料
介绍了自行研制的光纤燃烧传感器配合OMA4光通道分析系统,在国内首次对柴油机的着火时刻火焰光谱进行了测量和分析。
光电技术
刻录光盘的程序,适用于多数SCSI/ATAPI光盘。
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