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微机电系统（MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。
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基于MEMS的微型无人机姿态仪的设计
姿态测量系统是无人机设计中的关键部分。尤其是对于载荷很小的微型无人机, 姿态测量系统就更有研究的必 要。设计了由微机电技术(M EM S) 传感器组成的姿态测量系统。该系统由三轴磁阻传感器、三轴角速率陀螺和三轴加速度计 组成。通过测量载...
基于MEMS的微型手术器中的传感器
基于MEMS 的微型手术器是一种可用于微创手术的新型医疗器械。这种手术器实际上是一种微型智能机器人,其中的传感器采用MEMS 技术制造,具有微型、机电一体化集成、智能等特点。介绍了国际上具有代表性的微...
MEMS传感器弱信号检测电路及集成设计
帮助开发者快速掌握MEMS传感器中弱信号的检测与集成设计方法，提升信号处理精度和系统稳定性。涵盖电路架构、噪声抑制及低功耗优化等核心技术，适用于高可靠性传感系统开发。...
MEMS传感器弱信号检测电路及集成设计.rar
高精度惯性加速度计能够实现实时位移检测，在当今民用和军用系统如汽车电子、工业控制、消费电子、卫星火箭和导弹等中间具有广泛的需求。在高精度惯性加速度计中，特别需要稳定的低噪声高灵敏度接口电路。事实上，随着传感器性能的不断提高，接口电路将成为限...
基于MEMS传感器的虚拟现实参观系统
通过坐标变换的方法将传感器测量值转换成手柄在球坐标系中的状态，并计算出动作指令发送给主机端以改变虚拟场景中的视角。在Vega 虚拟场景中对比了理论指令边界和实测指令边界，说明该系统可以达到预期设计目标。 ...
mems血糖传感器的微弱信号检测技术研究
当人体内胰岛素分泌不足或胰岛素作用缺失时会导致血糖浓度偏离正常水平从而引发糖尿病及其并发症。血糖浓度的检测是糖尿病科学诊断的前提。本文针对课题组研制的MEMS血糖传感器用于组织液超滤提取检测的功能需求，研究了三电极MEMS血糖检测传感器微电...
基于MEMS共面波导腔的带阻滤波器的设计
应用计算机辅助设计了一种基于共面波导结构的MEMS 带阻滤波器。研究了微尺度电磁学、力学、温度等效应。利用ANSOF 的HFSS 软件模拟分析了滤波器的损耗参数，并应用ANSYS 软件分析复合...
MEMS传感器弱信号检测电路及集成设计.rar
高精度惯性加速度计能够实现实时位移检测，在当今民用和军用系统如汽车电子、工业控制、消费电子、卫星火箭和导弹等中间具有广泛的需求。在高精度惯性加速度计中，特别需要稳定的低噪声高灵敏度接口电路。事实上，随着传感器性能的不断提高，接口电路将成为限...
EL6249C及其在MEMS动态测试中的运用
EL6249C是美国Elantec半导体公司推出的四通道激光二极管电流放大器.文中根据频闪成像原理,利用EL6249C设计了一套频闪驱动电路,该驱动电路可驱动高亮LED,以产生MEMS动态测试中所需的...