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微机电系统（MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。
mems 热门资料
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焊料键合实现MEMS真空封装的模拟
结合典型的焊料键合MEMS真空封装工艺，应用真空物理的相关理论，建立了封装腔体的真空度与气体吸附和解吸、气体的渗透、材料的蒸气压、气体通过小孔的流动等的数学模型，确定了其数值模拟的算法．通过实验初步验证了模拟结果的准确性，分析了毛细孔尺寸对...
满足工业控制的集成MEMS传感器
MEMS (Micro Electro Mechanical System) sensor technology is well established, and has brought benefi...
MEMS传感器的优化与动态试验
为了实现液压系统的动态测量，给液压系统的设计以及故障诊断提供理论依据，在已经设计的新型MEMS 流量传感器的基础上，对其结构尺寸进行了进一步的优化，并对MEMS 芯体和优化后的MEMS...
RF-MEMS器件及其关键工艺技术
RF-MEMS 不仅在体积上小于传统射频器件，易于单片集成，且其性能也优于传统射频器件，此外，RF-MEMS 还可以实现器件多功能配置，如可重构天线。因此，RF-MEMS近年来已成为全世界范围...